国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货

IT之家 1 月 7 日消息，晶洲装备官方宣布，国产首台精密掩模版（Fine Metal Mask, 简称 FMM）INVAR 卷材工艺设备已于 1 月 6 日通过厂内验收，发运客户端即将投入生产。

这是晶洲装备自主研发生产的国内首台 INVAR 卷材工艺设备。该设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元，具备将基材厚度管理至 20μm 以内水平，从而打破国外企业的垄断，解决我国 FMM 工艺装备“卡脖子“的问题。

IT之家查询发现，FMM 是显示产业中的重要因素，是 OLED 蒸镀工艺中的核心零部件，其主要作用是生产过程中沉积 RGB 有机物质形成像素。鉴于蒸镀工艺中对 FMM 材料热膨胀性能的高要求，材质常用因瓦合金，简称为 INVAR。

据介绍，目前 FMM 供应一直被起步更早的日韩等海外制造商垄断，且 INVAR 原材料受限于原产地贸易协议，中国大陆的 FMM 制造企业很难获得 25μm 以下厚度基材，而高 PPI OLED 屏需要更精巧的孔，FMM 制造商需要获得更薄的 Invar 原材，Invar 原材已然成为我国 OLED 显示行业发展的限制因素。